产品简介
VacIonPlus75安捷伦的VacIonPlus离子泵系列具有适合各种抽速的Diode、NobleDiode和StarCell型号
产品描述
VacIon Plus 75
安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode Vaclon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode Vaclon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中,因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其成为能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。该泵同样可以速度和容量处理甲烷、氩气和氦气。StarCell Vaclon Plus 离子泵适合需要在 10-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。
特性
- 单元室采用优化设计,可限度提高排放强度和抽速
- 离子泵在真空状态下运输
- 具有宽广的抽速范围(从 0.2 l/s 至 1000 l/s)
- 可提供多种泵体配置
- 联锁的真空密封穿导件连接方便,并可避免腐蚀和限度缩小泵的总体尺寸
- 三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
- 专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
- 提供扫描电子显微镜 (SEM) 型
性能指标
技术指标
| StarCell® | 改进型二极离子泵 | 二极泵 |
氮气名义抽速 (*) (L/s) | 65 | 68 | 75 |
在 1 x 10-6 mbar 压力下的工作寿命(小时) | 80,000 | 50,000 | 50,000 |
启动压力 (mbar) | ≤ 5x10-2 | ≤ 1x10-3 | |
极限真空 | 低于 10-11 | ||
抽气口法兰 | 6 英寸 CFF (NW 100) AISI 304 ESR SST | ||
烘烤温度 (℃) | 350 | ||
重量,kg(磅) | 19 (42) |
外形图