三叶罗茨真空泵工艺原理分析

　　三叶罗茨真空泵工艺原理分析

　　一、核心结构设计

　　‌1、三叶转子构型‌

　　泵体内配置一对180°对称分布的三叶渐开线型转子，叶峰与叶谷轮廓经精密加工形成动态密封腔室。通过齿轮传动实现反向同步旋转，转子与泵壳间保持0.1-0.8mm的非接触间隙‌。

　　‌2、等容压缩机制‌

　　转子旋转周期中，吸气腔容积增大形成负压吸入气体，排气腔容积缩小完成气体压缩与排出。此过程依赖转子型线对腔室容积的精确控制，实现气体定向输送‌。

　　二、气体输送流程

　　‌1、吸气阶段‌

　　转子旋转至进气口区域时，腔室容积扩张，气体被吸入泵腔内部‌。

　　‌2、压缩阶段‌

　　气体随转子运动被封闭在动态腔室内，因腔室容积逐渐减小产生等容压缩效应，但无传统往复式压缩机的内压缩过程‌。

　　‌3、排气阶段‌

　　转子叶峰掠过排气口时，压缩气体被推送至排气端，同时排气侧高压气体部分反冲至封闭腔室，导致瞬时压力升高后排出系统‌。

　　三、工艺特性

　　‌1、三叶型线优势‌

　　相较两叶结构，三叶转子每转完成三次吞吐循环，有效降低压力脉动幅度达30%以上，显著减少运行振动与噪声‌。

　　‌2、无油润滑工艺‌

　　转子间及转子-泵壳间隙通过精密数控加工保证，无需润滑油介入，适用于洁净度要求高的制药、电子行业‌。

　　‌3、材料与加工工艺‌

　　转子采用高强度合金钢经五轴联动数控机床成型，表面硬化处理(如渗氮工艺)提升耐磨性，型线误差控制在±5μm以内‌。

　　四、辅助系统需求

　　需配置油封真空泵、水环泵等前级设备形成真空机组，以克服自身低压缩比缺陷(通常压缩比≤10)，实现10?¹~10³ Pa的中真空范围‌。

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