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1、停机前预净化处理
在正式停机清洁前，可先通入惰性气体或适配工况的清洁介质，对机组内部进行循环吹扫，带走大部分残留的工艺气体与易挥发附着物，避免直接拆机时残留介质溢出造成污染。如果被抽气体带有可凝性成分，也可通过通入干燥洁净的冷却介质，让附着在转子、泵腔内壁的冷凝物逐步松散，降低后续清洁的难度。
2、拆机与针对性清洁
确认机组完全断电、内部压力恢复至常压后，依次拆除进排气端的连接管路，做好各部件的位置标记以便后续精准回装。清洁罗茨泵部分时，用柔软的无掉屑清洁布配合适配的中性清洁剂，轻轻擦拭转子表面与泵腔内壁的残留附着物，注意避免刮伤转子的精密工作面，同时清理传动齿轮、轴承部位附着的油污与杂质。清洁螺杆泵部分时，可向泵腔内注入适配的清洁溶剂，手动缓慢转动泵轴，让溶剂充分接触螺杆与泵腔的所有区域，充分浸泡后排出溶剂，重复操作直至排出的液体状态清亮无明显杂质。机组的外表面可搭配温和清洁剂擦拭，去除长期运行积累的浮尘与油污。
3、润滑与密封复位
清洁完成后，先排净齿轮箱内的旧润滑油，加入少量新油手动转动轴体完成内部油路冲洗，再注入适配牌号的新润滑油，保证润滑状态处于合理区间。重新组装各部件时，在管路连接的密封面处均匀涂抹适配的密封胶，更换状态老化的密封件，避免后续运行出现泄漏问题。
4、清洁后调试验证
全部组装完成后，先进行空载试运行，观察机组运行状态是否平稳，有无异常异响或振动，确认无异常后再进行真空度测试，验证机组的抽气性能是否恢复至正常状态。日常运维中也可定期清理泵体表面的积尘，检查进气过滤器的状态，根据工况及时更换滤芯，减少杂质进入泵腔的概率，延长机组的清洁周期与使用寿命。
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